投資韜略:機械類1.esc靜電吸盤特點:承載晶圓尺寸逐步增大:幼兒營養心得
幼兒營養心得描述::投資韜略:
機械類
1.ESC靜電吸盤
特點:承載晶圓尺寸逐步增大,溫度均勻性需求也逐漸提高
國外企業:Shinko(新光電氣)、TOTO、NGK
國內企業:君原電子、新納陶瓷、華卓精科、海拓創新
2.邊緣環
國產化率:>10%
特點:加工精度、耐腐蝕性、密封性等
國外企業:Tokai Carbon、EPP
國內企業:珍寶、神工半導體
3.石英件
國產化率:>10%
特點:純度、加工精度、原材料匹配性、表面顆粒質量、應力質量等
國外企業:Wonik、Ferrotec、Heraeus
國內企業:凱德石英、上海強華、菲利華、寧波云德、太平洋石英
4.陶瓷件
國產化率:5-10%
特點:難點在于ESC靜電吸盤
國外企業:Kyocera、CoorsTek
國內企業:蘇州珂瑪、卡貝尼、河南東微電子
5.精密軸承
特點:材料、加工精度、對游隙的控制
國外企業:Fala、Kaydon
國內企業:暫無
電氣類
1.射頻電源
國產化率:1-5%
特點:RF電源、電路板、電磁閥、控制器等種類多、產品復雜,涉及功能各不相同;正向研發需要結合使用功能
國外企業:AE、MKS、Kyosan、Daihen
國內企業:恒運昌、神州半導體、北方華創 (旗下北廣科技)、英杰電氣、中科院微電子
機電一體類
1.機械手臂
國產化率:1-5%
特點:難點在于通訊
國外企業:Brooks、MKS、Yaskawa、Kawasaki、JEL、Rorze、Sankyo、RND、Kostek
國內企業:沈陽新松機器人
2.EFEM傳輸系統
特點:總成、占地面積、發熱量
國外企業:Brooks、Rorze
國內企業:果納半導體、銳杰機器人、華卓精科
3.溫控設備
特點:高穩定度、長壽命、體積小、無噪聲、無磨損、無振動、無污染
國外企業:SMC、ATS
國內企業:北京京儀自動化
氣體類
1.氣體流量計
國產化率:<1%
特點:滿足量程時間、測量精度
國外企業:Horiba、Brooks、MKS、Swagelok、Hamlet
國內企業:北方華創、萬業企業
2.氣體噴淋頭
國產化率:>10%
特點:氣體分配的均勻性
國外企業:AMSEA、UMS
國內企業:江豐電子、靖江先鋒
真空類
1.O-Ring密封圈
國產化率:<1%
特點:材料特殊,需要做成分分析及各種摻雜;耐化性:需要應對腐蝕性氣體及化學品、臭氧等離子體等,耐高溫、機械摩擦等;形狀特殊,加工難度也較大
國外企業:Dupont、Greene Tweed
國內企業:深圳暢揚、沸點密封、蘇州復芯
2.真空泵
國產化率:5-10%
特點:氣體動力學涉及、材料、微米級精密加工、表面處理、精密裝配
國外企業:Alcatel、Edwards、荏原、Pfeiffer Vacuum(普發)、 Kashiyama(堅山工業)、Brooks、Sumitomo、Varian、Leybold
國內企業:漢鐘精機、通嘉宏瑞、中科科儀、上海協微、沈陽科儀、京儀
3.閥件
國產化率:<1%
特點:材料等級高,耐磨性、抗腐蝕性、不能有顆粒
國外企業:Fujikin、VAT、MKS、 Swagelok、Hamlet
國內企業:晶盛機電、中科艾爾、靖江佳佳
儀表儀器
1.壓力計
國產化率:<1%
特點:滿足量程時間、測量精度
國外企業:MKS、Inficon
國內企業:上海振太
#半導體#北方華創(SZ002371)晶盛機電(SZ300316)
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